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4章 試料作製の基本とポイント
P.85
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4.1 なぜ、試料作製が必要か ?
P.85
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4.2 正しい試料の固定法
P.86
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4.3 チャージアップ現象の発生原理と防止法
P.91
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4.3.1 絶縁物の観察法
P.93
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4.3.2 チャージアップの勘違い - 理解しているつもりが本当は理解していない場合 -
P.94
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4.4 導電性コーティング法 - 何をどこまでコーティングすればよいのか -
P.95
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4.4.1 コーティング材料
P.96
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4.4.2 コーティング装置
P.97
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4.5 効率よくコーティングするための試料固定法
P.102
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4.5.1 チャージアップさせないための試料固定法およびコーティング法
P.102
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4.5.2 カーボンペーストを使用したときの落とし穴
P.106
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4.5.3 チャージアップする試料の取り扱い
P.107
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4.5.4 スキャンスピードとチャージアップの関係
P.108
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4.5.5 究極のチャージアップ回避法
P.109
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4.6 そうは言っても、コーティングしたくない !
P.110
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4.7 低真空SEM、Cryo - SEMの活用
P.113
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4.7.1 低真空SEM
P.113
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4.7.2 Cryo - SEM
P.116
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4.7.3 通常のSEMでのバイオ系試料の可能性
P.118
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4.8 断面試料作製法
P.118
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4.8.1 断面試料作製装置として、手っ取り早くカミソリを使う
P.118
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4.8.2 硬くて脆い試料の断面加工
P.123
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4.8.3 機械研磨と化学エッチング
P.123
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4.8.4 イオンビーム加工
P.130
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4.8.5 断面試料作製法のまとめと付記事項
P.130
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4.9 試料取り扱い上の注意
P.131
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4.9.1 熱ダメージの防止
P.131
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4.9.2 コンタミネーションの付着に注意
P.132
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4.9.3 試料を直接手で触ると…
P.133
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4.9.4 試料へのマーキング
P.134
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4.9.5 試料の保管、搬送方法
P.134
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4章 付録
P.137
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参考文献
P.137
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コラム ( 5 ) 観るということ、意味のある無駄のない観察
P.138