実践 SEMセミナー ―走査電子顕微鏡を使いこなす― (電子書籍版)

出版社: 裳華房
著者:
発行日: 2023-01-15
分野: 基礎・関連科学  >  生物/分子生物
ISBN: 9784785376062
電子書籍版: 2023-01-15 (ver.1.0)
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3,300 円(税込)

商品紹介

SEM(走査電子顕微鏡)は多くの研究機関や企業、大学、工業高校などに導入されており、一通り操作手順を覚えれば、比較的簡単に画像を得ることができよう。しかし実際は、観察する材料の種類や状態によって撮影条件を細かく設定することが可能で、またそうしなければ本当に観察したい実像は得られないことも多いのである。本書は、SEMの開発にかかわり撮影指導をしてきた著者が、数多の失敗も含めた長年の蓄積を元に、どうすれば目的に適う画像が得られるのか、そのコツを豊富な具体例とともに伝授する画期的な書籍である。本書を手にワンランク上のSEMユーザーを目指そう!

目次

  • 表紙
  • カラーグラビア
  • はじめに
  • 目次
  • 1章 SEMってどんな装置 ?
  • 1.1 SEMとは ?
  • 1.2 SEM「あるある」劇場
  • 1.2.1 絶縁物はコーティングしなくてもOK ?
  • 1.2.2 同じ場所を観察しているのに ?
  • コラム ( 1 ) SEMの都市伝説
  • 2章 SEMの構成と操作のポイント
  • 2.1 SEMのしくみ
  • 2.1.1 電子銃
  • 2.1.2 加速電圧
  • 2.1.3 電子レンズ
  • 2.1.4 対物絞りとその役割
  • 2.1.5 走査コイルと倍率
  • 2.1.6 非点収差と非点 ( 収差 ) 補正
  • 2.1.7 各種検出器
  • 2.1.8 ステージ
  • 2.1.9 真空排気系
  • 2.2 電子線照射で起こる現象とSEM像
  • 2.3 コンデンサーレンズとSEM像の画質
  • 2.4 検出器の構造と各種信号の応用
  • 2.4.1 二次電子の性質と二次電子検出器
  • 2.4.2 反射電子の性質と反射電子検出器
  • 2.5 加速電圧を使いこなす
  • 2.5.1 加速電圧変化がSEM像に与える影響
  • 2.5.2 入射電子の進入深さ測定用試料の作製
  • 2.5.3 入射電子の試料内への進入深さの見積もり
  • 2.5.4 加速電圧を変えて観察することのメリット
  • 2.6 外部環境の変化による像の乱れ
  • 2.7 ステージの傾斜および回転
  • 2.7.1 ワーキングディスタンス
  • 2章 付録
  • 引用文献 / 参考文献
  • コラム ( 2 ) 卓上SEM、汎用SEM、ハイエンドSEM
  • コラム ( 3 ) 「星の砂」、「太陽の砂」
  • 3章 元素分析の基本とポイント
  • 3.1 X線発生のメカニズムと元素分析の基礎
  • 3.1.1 X線発生のメカニズム
  • 3.2 SEMに付属する元素分析装置
  • 3.2.1 EDS検出器について
  • 3.2.2 EDS測定の各種パラメータの設定
  • 3.3 元素分析のポイント
  • 3.3.1 特性X線ピークの重なり
  • 3.3.2 分析時の加速電圧設定と分析領域の広がりとの関係
  • 3.3.3 分析領域の広がりを推測する
  • 3.3.4 分析領域の広がりを考慮した鉱物 ( 銅鉱 ) 試料の分析例
  • 3章 付録
  • 引用文献 / 参考文献
  • コラム ( 4 ) メゾスコピックって知っていますか ?
  • 4章 試料作製の基本とポイント
  • 4.1 なぜ、試料作製が必要か ?
  • 4.2 正しい試料の固定法
  • 4.3 チャージアップ現象の発生原理と防止法
  • 4.3.1 絶縁物の観察法
  • 4.3.2 チャージアップの勘違い - 理解しているつもりが本当は理解していない場合 -
  • 4.4 導電性コーティング法 - 何をどこまでコーティングすればよいのか -
  • 4.4.1 コーティング材料
  • 4.4.2 コーティング装置
  • 4.5 効率よくコーティングするための試料固定法
  • 4.5.1 チャージアップさせないための試料固定法およびコーティング法
  • 4.5.2 カーボンペーストを使用したときの落とし穴
  • 4.5.3 チャージアップする試料の取り扱い
  • 4.5.4 スキャンスピードとチャージアップの関係
  • 4.5.5 究極のチャージアップ回避法
  • 4.6 そうは言っても、コーティングしたくない !
  • 4.7 低真空SEM、Cryo - SEMの活用
  • 4.7.1 低真空SEM
  • 4.7.2 Cryo - SEM
  • 4.7.3 通常のSEMでのバイオ系試料の可能性
  • 4.8 断面試料作製法
  • 4.8.1 断面試料作製装置として、手っ取り早くカミソリを使う
  • 4.8.2 硬くて脆い試料の断面加工
  • 4.8.3 機械研磨と化学エッチング
  • 4.8.4 イオンビーム加工
  • 4.8.5 断面試料作製法のまとめと付記事項
  • 4.9 試料取り扱い上の注意
  • 4.9.1 熱ダメージの防止
  • 4.9.2 コンタミネーションの付着に注意
  • 4.9.3 試料を直接手で触ると…
  • 4.9.4 試料へのマーキング
  • 4.9.5 試料の保管、搬送方法
  • 4章 付録
  • 参考文献
  • コラム ( 5 ) 観るということ、意味のある無駄のない観察
  • 5章 もっとSEMを使いこなすために
  • 5.1 SEM「あるある」劇場の反省会
  • 5.1.1 セラミックスのコーティング
  • 5.1.2 塗装膜の表面評価
  • 5.2 あるあるを乗り越えて
  • 5.3 再スタートの前にもう一言
  • 引用文献 / 参考文献
  • コラム ( 6 ) 何でも観ておくことの大切さ
  • コラム ( 7 ) 「食卓の主役、脇役、困り者」
  • おわりに
  • 索引
  • 奥付

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